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鄭州華晶金剛石股份有限公司

最高資助2500萬 廣東大力扶持半導體金剛石項目

關鍵詞 金剛石 , 半導體|2019-09-23 09:34:30|來源 中國超硬材料網
摘要 9月19日,廣東省科技廳發布通知,正式啟動2019年度廣東省重點領域研發計劃“第三代半導體材料與器件”重大專項項目申報工作。該重點專項目標是:圍繞第三代半導體關鍵材料、器件、模組以...

       9月19日,廣東省科技廳發布通知,正式啟動2019年度廣東省重點領域研發計劃“第三代半導體材料與器件”重大專項項目申報工作。該重點專項目標是:圍繞第三代半導體關鍵材料、器件、模組以及可靠性測試技術等方面的迫切需求,在第三代半導體材料生長技術及設備、功率器件與模塊、射頻器件與模塊、深紫外固態光源等方面,開展核心技術攻關與應用研究。

       本專項重點部署6個專題,每個專題含多個項目,其中包括MPCVD半導體金剛石單晶材料生長設備及關鍵工藝技術攻關項目。具體相關內容如下:
       項目名稱:MPCVD 半導體金剛石單晶材料生長設備及關鍵工藝技術攻關

       研究內容:

       1)開展基于微波誘導腔體共振激發的等離子體行為模擬研究,研制國產大功率微波等離子體化學氣相沉積設備(MPCVD);

       2)研制國產大功率微波發生器及其輔助設備,提高設備的運行效率;

       3)通過仿真與工藝實驗優化,攻關大面積金剛石襯底的高速、高質量與高均勻性的生長難題,制備高質量大尺寸單晶金剛石襯底。

       考核指標:

       1)研制出國產 30kW 大功率 2.45 GHz 的頻率發生設備,能量幅值波動小于 5%,頻率穩定度在 1%;

       2)研制出國產 30kW 微波等離子體化學氣相沉積設備,實現大于 50 μm/h 的金剛石生長速率,其 N、Si 等雜質的含量接近或低于金剛石光致發光光譜的檢測限;

       3)制備 2 英寸的單晶金剛石襯底,其(400)晶面的 XRD 搖擺曲線半高寬小于 50 弧秒,金剛石的一階拉曼位移半高寬小于4cm-1;

       4)以上指標通過具有國家認證資質的第三方測試機構測試;

       5)設備平均故障間隔時間(MTBF)>5000 小時;

       6)申請發明專利 10 件,圍繞項目形成的創新成果發表高水平論文。

       支持方式與強度:無償資助,每項不超過2500 萬元。

廣東省科學技術廳關于組織申報2019年度廣東省重點領域研發計劃“第三代半導體材料與器件”重大專項項目的通知

       省直有關部門、各地級以上市科技局(委)、各有關單位:

  根據《廣東省重點領域研發計劃實施方案》,現啟動2019年度廣東省重點領域研發計劃“第三代半導體材料與器件”重大專項項目申報工作(申報指南見附件1)。有關事項通知如下:

  一、申報要求

  (一) 項目申報單位(包括科研院所、高校、企業、其他事業單位和行業組織等)應注重產學研結合、整合省內外優勢資源。申報單位為省外地區的,項目評審與廣東省內單位平等對待,港澳地區高校院所按照《廣東省科學技術廳廣東省財政廳關于香港特別行政區、澳門特別行政區高等院校和科研機構參與廣東省財政科技計劃(專項、基金等)組織實施的若干規定(試行)》(粵科規范字〔2019〕1號)文件精神納入相應范圍。

  省外單位牽頭申報的,經競爭性評審,擇優納入科技計劃項目庫管理。入庫項目在滿足科研機構、科研活動、主要團隊到廣東落地,且項目知識產權在廣東申報、項目成果在廣東轉化等條件后,給予立項支持。

  (二) 堅持需求導向和應用導向。鼓勵企業牽頭申報,牽頭企業原則上應為高新技術企業或龍頭骨干企業,建有研發機構,在本領域擁有國家級、省部級重大創新平臺,且以本領域領軍人物作為項目負責人。鼓勵加大配套資金投入,企業牽頭申報的,項目總投入中自籌經費原則上不少于70%;非企業牽頭申報的,項目總投入中自籌經費原則上不少于50%(自籌經費主要由參與申報的企業出資)。

  (三) 省重點領域研發計劃申報單位總體不受在研項目數的限項申報約束,項目應依托在該領域具有顯著優勢的單位,加強資源統籌和要素整合,集中力量開展技術攻關。不鼓勵同一單位或同一研究團隊分散力量、在同一專項中既牽頭又參與多個項目申報,否則納入科研誠信記錄并進行相應處理。

  (四) 項目負責人應起到統籌領導作用,能實質性參與項目的組織實施,防止出現拉本領域高端知名專家掛名現象。

  (五) 項目內容須真實可信,不得夸大自身實力與技術、經濟指標。各申報單位須對申報材料的真實性負責,要落實《關于進一步加強科研誠信建設的若干意見》(廳字〔2018〕23號)要求,加強對申報材料審核把關,杜絕夸大不實,甚至弄虛作假。各申報單位、項目負責人須簽署《申報材料真實性承諾函》(模板可在陽光政務平臺系統下載,須加蓋單位公章)。項目一經立項,技術、產品、經濟等考核指標無正當理由不予修改調整。

  (六) 申報單位應認真做好經費預算,按實申報,且應符合申報指南有關要求。牽頭承擔單位原則上應承擔項目的核心研究任務,分配最大份額的項目資金。項目研究成果須在廣東轉化和產業化。

  (七) 有以下情形之一的項目負責人或申報單位不得進行申報或通過資格審查:

       1.項目負責人有廣東省級科技計劃項目3項以上(含3項)未完成結題或有項目逾期一年未結題(平臺類、普惠性政策類、后補助類項目除外);

       2.項目負責人有在研廣東省重大科技專項項目、重點領域研發計劃項目未完成驗收結題(此類情形下該負責人還可作為項目組成員參與項目申報);

       3.在省級財政專項資金審計、檢查過程中發現重大違規行為;

       4.同一項目通過變換課題名稱等方式進行多頭或重復申報;

       5.項目主要內容已由該單位單獨或聯合其他單位申報并已獲得省科技計劃立項;

       6.省內單位項目未經科技主管部門組織推薦;

       7.有尚在懲戒執行期內的科研嚴重失信行為記錄和相關社會領域信用“黑名單”記錄;

       8.違背科研倫理道德。

  (八) 申報項目還須符合申報指南各專題方向的具體申報條件。

  二、申報方式

  符合指南申報條件的單位通過“廣東省政務服務網”或“廣東省科技業務管理陽光政務平臺(http://pro.gdstc.gov.cn)”提交有關材料進行申報。項目申報采用在線申報、無紙化方式,必要的技術、財務、知識產權、合作協議、承諾函等佐證支撐材料請以附件形式上傳。申報材料不宜通過網絡形式提交的,由申報單位提出書面申請,報省科技廳同意后可走線下申報。

  項目評審評估過程須提供的補充材料由第三方專業機構另行通知提交。項目按程序立項后,項目申報書、任務書紙質件再一并報送至省科技廳綜合業務辦理大廳(均需簽名、蓋章,提交時間及具體要求另行通知)。

  三、評審及立項說明

  省重點領域研發計劃項目由第三方專業機構組織評審,對申報項目的背景、依據、技術路線、科研能力、時間進度、經費預算、績效目標等進行評審論證,并進行技術就緒度和知識產權等專業化評估:

  (一) 技術就緒度與先進性評估。本專項主要支持技術就緒度4~7級的項目,其中,技術就緒度目前為4~6級的項目在完成后原則上應有3級以上提高,目前為7級的項目在完成后應達到9級(技術就緒度評價標準及細則見附件2),各申報單位應在可行性報告中按要求對此進行闡述并提供必要的佐證支撐材料(可行性報告提綱可在陽光政務平臺系統下載)。

  (二) 查重及技術先進性分析。將利用大數據分析技術,對照國家科技部科技計劃歷年資助項目與廣東省科技計劃歷年資助項目,對擬立項項目進行查重和先進性等分析。

  (三) 知識產權分析評議。項目研究成果一般應有高質量的知識產權,請各申報單位按照高質量知識產權分析評議指引(見附件3)的有關要求加強本單位知識產權管理,提出項目的高質量知識產權目標,并在可行性報告中按要求對此進行闡述并提供必要的佐證支撐材料(可行性報告提綱可在陽光政務平臺系統下載),勿簡單以專利數量、論文數量作為項目目標。

  擬立項項目經領域專家和戰略咨詢專家審議,并按程序報批后納入項目庫管理,按年度財政預算及項目落地情況分批出庫支持,視項目進展分階段進行資金撥付。

  同一指南中的同一項目方向(或子方向),原則上只支持1項(指南有特殊說明的除外),在申報項目評審結果相近且技術路線明顯不同時,可予以并行支持。

  四、申報時間

  申報單位網上集中申報時間為2019年9月 19日~10月14 日18:00,主管部門網上審核推薦截止時間為2019年10月21日18:00。

  五、聯系人及電話
       1.高新技術處(專題業務咨詢):張志彤,020-83163387

       2.業務受理及技術支持:020-83163930、83163338

       3.資源配置與管理處(綜合性業務咨詢):司圣奇 020-83163838

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